东莞市晟鼎精密仪器获得一种气体模块化操控办理体系专利处理当时技能存在的多项问题
时间: 2025-01-30 01:26:19 | 作者: fun88体育网站
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金融界2025年1月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,东莞市晟鼎精密仪器有限公司获得一项名为“一种气体模块化操控办理体系”的专利,授权公告号 CN 222320188 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本实用新型规划一种气体模块化操控办理体系,包含柜体、抽气体系、气体流量模块以及操控办理体系,所述柜体内部设有内腔,抽气体系设于柜体的底部且连通内腔,所述气体流量模块设于柜体内部且经过管道衔接外部的工艺腔室,所述操控办理体系设于柜体的顶部用于操控抽气体系和气体流量模块。本实用新型一种气体模块化操控办理体系,经过模块化的集成规划抽气体系、气体流量模块以及操控办理体系,处理了当时技能中存在的周期无法精准管控、安装进程需时较长、管路无法提早规划好等问题。本实用新型作为模块可直接与工艺腔室连通,并向工艺腔室内通入必定流量的工艺气体或向工艺腔室内涵通入必定流量的工艺气体一起,向工艺腔室内通入必定流量的载气。
天眼查资料显现,东莞市晟鼎精密仪器有限公司,成立于2012年,坐落东莞市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册本钱3550万人民币,实缴本钱2724万人民币。经过天眼查大数据分析,东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外出资了6家企业,参加招投标项目64次,知识产权方面有商标信息6条,专利信息138条,此外企业还具有行政许可9个。
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